وبحسب تقرير القسم العلمي في وكالة إرنا، الصادر من مركز الاتصال والمعلومات التابع لمكتب نائب رئيس الجمهورية للعلوم والتكنولوجيا والاقتصاد المعرفي، قال، علي إخوان فراهاني، الرئيس التنفيذي للشركة النانوية المعرفية: يعمل الباحثون على الأنظمة التي تستخدم في الغالب لمختبرات الإلكترونيات الدقيقة.
وتابع: أحد هذه المنتجات هو نظام نمو أنابيب الكربون النانوية باستخدام بلازما التيار المباشر عند الضغط المنخفض (DC-PECVD). ويستخدم هذا النظام، الذي يحتوي على مصدر طاقة عالي الجهد (لتوليد البلازما)، ومضخات تفريغ ميكانيكية (لإنشاء ضغط منخفض)، وأفران مخصصة (لدرجة الحرارة المرتفعة والتحكم الآلي بالكامل)، يستخدم في العديد من المختبرات ومعاهد البحوث المتعلقة بالإلكترونيات النانوية و الأجهزة، وكذلك في أشباه الموصلات. وأضاف قائلا بإن أنابيب الكربون النانوية، ونظراً لخصائصها المميزة فلها تطبيقات عدة في صناعة أجهزة الاستشعار والمكونات الإلكترونية، كما أنها تحظى باهتمام متزايد في مكونات الطاقة والإلكترونيات الحيوية. وحاليا، فإن إمكانية نمو الجرافين وإزالة المادة المؤكسدة هي أيضا من سمات هذا النظام، ويعد الجرافين من أبرز المواد ثنائية الأبعاد التي يمكن أن تلعب دورا كبيرا في صناعة المكونات الإلكترونية في المستقبل.
وذكر الباحث: من منتجاتنا الأخرى هي إنتاج نظام إزالة السيليكون العميق باستخدام الأيونات التفاعلية (DRIE) والذي يشتمل على حافظة مفرغة ومضخات ميكانيكية ومصدر طاقة تردد راديوي (لتكوين البلازما)، وشبكة مطابقة المعاوقة (لأنواع مختلفة من الغازات وكميات مختلفة)، ووحدة تحكم مدخل الغاز (MFC) وبرنامج رقمي وتحكم أوتوماتيكي بالكامل (لـ المستخدم). هذا ويتمتع النظام الجديد بعملية متطورة ومحسنة مقارنة بالعينات الأجنبية، حيث بات يستخدم في العديد من المختبرات والمعاهد البحثية المتعلقة بإلكترونيات النانو وأجهزة أشباه الموصلات.
وتابع: إن نظام التنظيف بالبلازما للحرق الشديد للأوساخ على سطح العينات الإلكترونية الدقيقة هو منتج آخر من هذه المجموعة. حيث يقوم هذا النظام بتحويل غاز الأكسجين الموجود في الغرفة إلى بلازما الأكسجين بمساعدة بلازما الترددات الراديوية التي ينتجها مصدر الترددات الراديوية RF وباستخدام دوائر مطابقة. هذا وأن أيونات الأكسجين ذات المقاومة الضوئية الموجودة على سطح العينة ممكن أن تتحول بفعل هذا النظام إلى رماد، ويزيلها من السطح. كما يمكن أيضًا إجراء عملية التنظيف بمساعدة الفلور الذي يتطلب (هذا النظام) مضخة فراغية وضغطًا لإزالة الرماد المقاوم للضوء وتكوين البلازما. هذا ومن الضروري وجود هذا الجهاز في المختبرات التي تستخدم مقاوم الضوء.
أ.ش
